靜電吸盤結構、靜電吸附原理、靜電吸盤種類在PTT/mobile01評價與討論，在ptt社群跟網路上大家這樣說

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多層結構包含氦氣與冷卻通道 · 以氧化鋁/鎢做表面噴塗、可選擇單極或雙極結構 · 電極: 崩潰電壓>5000V DC · 使用特殊工藝在表面形成的凸起圖案及氦氣溝槽能夠有效解除吸力或 ...

1。種類：基本分為兩類。 · 2。兩類吸盤都靠靜電荷的同性相吸來固定Wafer。 · 3。吸盤與晶片接觸的表面有一層電介質。 · 4。在吸盤的電介質層中鑲嵌著一個直流電極（大小與硅 ...

静电吸盘的吸附方式有两种工作原理，分别是将绝缘材料作为电介质使用的库伦力类型以及在工件与电介质界面的细小裂缝中流入微弱电流，形成介电极化并激发约翰森-拉别克效应 ...

静电吸盘示意图. 基本原理：. ESC 利用电容两带电极板的库伦吸引原理制成。表面涂有绝缘层的ESC的主体部分为电容一侧电极， wafer 为电容的另一侧电极。

靜電吸盤是對內部的電極施加電壓，並通過庫侖力（靜電力）將目標吸附固定住。比起機械和真空方式有更多優點，如均勻的吸附性以及真空環境的兼容性等。

雙極性靜電吸盤(Electrostatic Chuck,ESC)已經在一系列的電漿製程環境中被研發使用，它的優勢是在於它不需加入電漿即可以有吸附能力，所以在業界逐漸廣泛運用。

[10] 董家偉、黃其煜, ”乾法刻蝕中靜電吸盤對產品良率的影響”, 電子與封裝, 第9卷第三期, pp.32~35, 2009. [11] Xiao Hong, ” Introduction to Semiconductor ...

根据本发明，提供一种用于静电吸引绝缘基片的静电吸盘、使用静电吸盘加热/冷却绝缘 ... 为了在EB曝光装置中固定标线，还希望有采用静电吸盘的方法，其结构比机械固定的 ...

一般的静电吸盘直接由这三层主体机构构成并加入部分辅助结构如电极柱、导热通道、固定孔等。但不同的晶圆加工工序，对静电吸盘的要求也各不相同，用于 ...

典型的静电吸盘夹持系统一般是一个三明治结构:上下两层为电极,中间夹着一层电介质。而在实际简单的应用中,硅片充当上表面的电极,下电极和电介质被整合制造在一个器件中,即 ...